39

Wafer level anti-stiction coatings for MEMS

Année:
2003
Langue:
english
Fichier:
PDF, 323 KB
english, 2003
48

Photoresist-derived porous carbon for on-chip micro-supercapacitors

Année:
2013
Langue:
english
Fichier:
PDF, 838 KB
english, 2013